12月24日，华海清科（688120.SH）发布公告，公司拟使用自有资金不越过10.045亿元收购参股子公司芯嵛公司剩余82%的股权，本次交往完成后，芯嵛公司将成为公司全资子公司。
华海清科是一家领有中枢自主常识产权的高端半导体装备供应商，主要从事半导体专用装备的研发、坐褥、销售及工夫行状，主要产物包括CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、环节耗材与维保行状等，初步杀青了“装备+行状”的平台化策略布局。通过本次收购，华海清科不错较快杀青对离子注入中枢工夫的接纳和和解，进步式地完成产物和业务板块布局，是其积极落实“装备+行状”的平台化发展策略的又一热切破裂，将进一步晋升中枢竞争力。
据了解，离子注入设备是集成电路制造前谈工序中的环节设备之一，销售额占半导体工艺设备全体销售规模的比重约为3-5%，但其触及高压电子、机械、电气、策画机截至、等离子体物理等基础科学，表面门槛高，系统集成难度大。笔据SEMI数据，在内行及国内商场中，越过九成的设备仍由好意思国哄骗材料公司、好意思国亚舍立公司供应，中国大陆集成电路制造企业的离子注入设备仍然主要依赖入口，入口替代需求空间宏大，商场出路亦相等繁密。
行动国产离子注入设备研发和坐褥企业，芯嵛公司是国内少数能杀青大束流离子注入设备坐褥的供应商，其中枢工夫团队专注于离子注入行业30多年，具有丰富的离子注入行业西宾，在永久研发经由中连接蓄积了产物假想及工艺性能的中枢参数，较同类竞品的晶圆颗粒沾污截至后果、晶圆的装载效力更优，且设备零部件的国产化率更高。现在，芯嵛公司杀青营业化的主要产物为粗劣大束流离子注入设备，联系产物已发往客户端考据，已有部分机台杀青验收。
华海清科示意，本次收购完成后，将加大此类业务的研发参加，以杀青离子注入设备的合手续迭代升级和新产物设备，进一步加速落实公司“装备+行状”的平台化发展策略🦄九游娱乐(China)官方网站，丰富公司产物品类，带来新的业务增长点。